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| NO | 部件編號 | 部件名稱 |
|---|---|---|
| 1 | 228-46472 | 非法蘭接頭 |
| 2 | 228-46471 | 刃環 |
| 228-44479-06 | 堵頭 | |
| 228-35464 | FEP 管子φ3×φ1.5×2m | |
| 3 | 228-44485 | 脫氣膜腔 |
| 228-52499 | 配管（3 連） | |
| 228-52500 | 配管（5 連） | |
| 4 | 228-44486-01 | 真空泵 |
| 5 | 228-44487 | 電磁閥 |
| 6 | 228-44488 | 控製電路板 |
| 7 | 228-44489 | I/F 電路板 |
| 8 | 228-44543 | 指示燈電路板 |
| 228-34894-02 | 電源線 | |
| 228-44482 | 壓力信號電纜 | |
| 228-44841 | 報警電纜 | |
| 228-46864 | 過濾頭 | |
| 9 | 228-46604 | 前麵板 |
| 228-90073 | 使用說明書 |